Es bezieht sich auf ihre Fähigkeit, chemischen Reaktionen und Abbau in aggressiven chemischen Umgebungen wie oxidierenden oder korrosiven Atmosphären zu widerstehen. Diese Eigenschaft ist ein Schlüsselfaktor für Anwendungen, bei denen Langzeitstabilität und Leistungsfähigkeit beschichteter Bauteile erforderlich sind, im Werkzeugbau, in der Luft- und Raumfahrt, in der Automobilindustrie oder in der Biomedizin.

PVD-Beschichtungen wie TiN (Titannitrid), TiAlN (Aluminiumtitannitrid), CrN (Chromnitrid) oder DLC (diamond-like carbon – diamantähnlicher Kohlenstoff) zeichnen sich durch eine hohe chemische Stabilität aus, die auf ihre dichte, homogene Mikrostruktur und geringe Reaktivität ihrer Bestandteile zurückzuführen ist. Diese Stabilität bleibt auch bei hohen Temperaturen erhalten und verhindert so eine Oxidation der Oberfläche oder eine Diffusion von Sauerstoff in das Substrat. Dies ist besonders wichtig bei Anwendungen, bei denen Beschichtungen mit aggressiven Chemikalien oder hohen Temperaturen in Berührung kommen, die zu einer Zersetzung des Materials führen könnten.

Die chemische Inertheit von PVD-Beschichtungen schützt somit nicht nur das Grundmaterial vor chemischen Reaktionen, sondern sorgt auch dafür, dass die mechanischen Eigenschaften der Beschichtungen wie Härte, Verschleißfestigkeit und niedriger Reibungskoeffizient auch unter anspruchsvollen Betriebsbedingungen erhalten bleiben Dadurch wird die Lebensdauer von beschichteten Werkzeugen und Bauteilen erheblich verlängert und die Häufigkeit der Wartung oder des Austauschs verringert, was erhebliche wirtschaftliche und betriebliche Vorteile mit sich bringt.